半導(dǎo)體行業(yè)痕量、超痕量金屬污染檢測(cè)

半導(dǎo)體產(chǎn)品在制造過程中，金屬污染會(huì)對(duì)制程良率造成極大的影響。在整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中，從襯底、化學(xué)品、特氣等半導(dǎo)體材料的制造，到晶圓的加工，都對(duì)金屬污染有著嚴(yán)格的管控要求。

譜育科技針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)各個(gè)環(huán)節(jié)的金屬污染檢測(cè)，推出了一系列解決方案以及相關(guān)產(chǎn)品，可以滿足各類半導(dǎo)體用戶對(duì)金屬污染的相關(guān)檢測(cè)需求，為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)貢獻(xiàn)出自己的一份力量。

半導(dǎo)體AMC在線監(jiān)測(cè)解決方案

AMC是危害半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝并導(dǎo)致成品率降低的分子態(tài)化學(xué)物質(zhì)。AMC會(huì)在半導(dǎo)體制造的柵底氧化、薄膜、硅化物和多晶硅形成、接觸成型、光刻等多個(gè)關(guān)鍵工藝上造成各種危害，影響產(chǎn)品質(zhì)量，是半導(dǎo)體制造面臨的越來越嚴(yán)重的問題，也是生產(chǎn)環(huán)境控制中亟待解決的問題。隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展，對(duì)AMC的控制標(biāo)準(zhǔn)將越來越嚴(yán)格。

譜育科技針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)潔凈室AMC管控要求，推出了一系列解決方案以及相對(duì)應(yīng)的離線、在線檢測(cè)設(shè)備。為解決國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體企業(yè)潔凈室AMC環(huán)境管控難題貢獻(xiàn)出一份力量。

半導(dǎo)體近紅外檢測(cè)儀

隨著大型半導(dǎo)體器件成為電子消費(fèi)者的選擇，在制造半導(dǎo)體裝置的過程中使用的溶劑量已大大增加，因此需有效使用溶劑以優(yōu)化器件制造工藝。同時(shí)在蝕刻劑的再生過程中，也需實(shí)時(shí)分析蝕刻劑的成分以再生均勻組成的蝕刻劑。由于蝕刻劑的每種成分都有其特征性的光吸收波長(zhǎng)，基于近紅外光譜儀的分析技術(shù)是最近開發(fā)的實(shí)時(shí)分析技術(shù)之一。

譜育科技可以提供完整的半導(dǎo)體分析解決方案，涵蓋了從濕法刻蝕清洗和光阻去除等工藝過程控制，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體制造過程的快速、實(shí)時(shí)分析蝕刻劑的各種成分，加快處理速度并達(dá)到改善質(zhì)量控制的目的。

GDM-2100  Series特氣檢測(cè)儀

半導(dǎo)體行業(yè)在芯片制造過程（擴(kuò)散、沉積、刻蝕等）中會(huì)使用到各種易燃易爆、有毒有害的電子特氣，常見的電子氣體包括了可燃?xì)怏w、硅烷、磷烷、鍺烷、氨氣、氯氣、氰化氫、磷化氫、氯化氫等氣體；這些特氣在使用過程有出現(xiàn)泄漏的可能性，可燃?xì)怏w發(fā)生泄漏可能會(huì)引起爆炸事故，有毒有害氣體泄漏則會(huì)對(duì)人產(chǎn)生直接的影響，造成人員中毒甚至直接威脅人員的生命安全。

因此，半導(dǎo)體行業(yè)在芯片的生產(chǎn)、制造過程中需要安裝特氣檢測(cè)儀，來對(duì)這些特殊氣體進(jìn)行泄漏監(jiān)測(cè)和預(yù)警，一旦檢測(cè)到氣體濃度超標(biāo)，則發(fā)出聲光報(bào)警提醒工作人員。